半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運


ATR500

APR500

APR500片盒搬運機器人,可自動搬運兩個12寸FOUP(兼容8寸片盒),實現端到端全自動搬運。ATR500物料運輸機器人,可兼容多種半導體工廠物料,在工廠不同區域進行運輸。機器人配置了多重安全保障功能,尤其適用于人機協作環境;多項創新技術有效提升機器人使用效率;可根據客制化需求,為用戶提供工廠搬運整體解決方案。
   產品特征

● 靈活性高

● 適用于高凈化等級廠房

● 運載量大

● 操作簡便

● 物料可追溯

● 安全性高

   主要技術參數

型號

ATR500 

APR500 

運載容量

12個8寸滿載片盒或4個12寸滿載FOUP

2個12寸滿載FOUP

引導方式

激光智能引導

激光智能引導

移動速度

 最高1.3 m/s(可配置)

 最高1.3 m/s(可配置)

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