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長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


SOM255/10

SOM245/10

SOM200系列長短寸測量設備配合光刻機,用于長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
   產品特征

● 多功能測量,長寸測量同時兼容CD/Overlay測量及光刻膠膜厚測量

● 高測量精度,CD測量重復性30nm,TP測量重復性280nm,滿足高分辨率光刻的測量需求

● 高測量效率,采用橋式結構,更穩定更高速

● 高效的溫度控制系統

● 快速靈活的客制化服務

   主要技術參數

 型號

SOM245/10 

 SOM255/10

 CD測量重復性

 [email protected]

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CD測量復現性

[email protected] 

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 TP測量重復性

 [email protected]

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 TP測量復現性

[email protected] 

[email protected]

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