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半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運


ATR500

APR500

APR500片盒搬運機器人,可自動搬運兩個12寸FOUP(兼容8寸片盒),實現端到端全自動搬運。ATR500物料運輸機器人,可兼容多種半導體工廠物料,在工廠不同區域進行運輸。機器人配置了多重安全保障功能,尤其適用于人機協作環境;多項創新技術有效提升機器人使用效率;可根據客制化需求,為用戶提供工廠搬運整體解決方案。
   產品特征

● 操作簡便

● 適用于高凈化等級廠房

● 物料可追溯

● 運載量大

● 安全性高

   主要技術參數
 型號  ATR500  APR500
 運載容量  12個8寸滿載片盒或4個12寸滿載FOUP

兩者可兼容

 2個12寸滿載FOUP
 引導方式  激光智能引導  激光智能引導

  移動速度

 最高1.3 m/s(可配置)

最高1.3m/s(可配置)

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